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  • FPC用水平等離子處理機

    機臺名稱:FPC用水平等離子處理機 機臺型號:PM13A 整機規格:1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm(H) 電極規格:13層平板式電極板(870mm×610mm) 電源系統:10KW等離子體發生源(40KHz,可選13.56MHz) 控制系統:PC工控系統+PLC自動控制 進氣系統:2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2

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